Technologie

Wie funktioniert das PVD-ARC-Verfahren ?

PVD Verfahren ( engl. Physical Vapour Deposition) bedeutet „physikalische Abscheidung aus der Dampfphase“.
Ein geeignetes Kathodenmaterial (z.B. Titan) wird im Lichtbogen unter gleichzeitiger Zufuhr eines reaktiven Gases (z.B. Stickstoff) im Hochvakuum verdampft. An die in der Vakuumkammer chargierten Werkstücke (Substrate) legt man ein negatives elektrisches Potential, so das sich der Metalldampf auf der Oberfläche niederschlägt.

Das Verdampfen und Abtragen mittels Stossionisation in einer Prozessstufe, führt zu sehr harten, verschleißfesten, korrosionsbeständigen und äußerst gleichmäßigen präzisen Schichten mit hoher Haftfestigkeit.

 

AEGD-Verfahren

AEGD (Arc Enhanced Glow Discharge): Ein patentierter Plasmareinigungsprozess.
Er basiert auf einem Edelgasplasma und ersetzt das herkömmliche Metall-Ionen-Bombardement. Dabei wird eine Arc-Kathode zur Erzeugung der notwendigen Elektronen verwendet, sowie eine wassergekühlte Anode mit eigener Stromversorgung und einem extra Gaseinlass. Die Arc-Kathode wird gezündet. Die Elektronen, die bei dieser Bogenentladung hinter dem Shutter entstehen, werden von der Anode angesaugt und ionisieren durch Stoßprozesse auf ihren Weg dorthin das Argon. Die Ionen werden wiederum von der negativen BIAS-Spannung am Substrat angezogen und schlagen dabei die wenigen Nanometer dicken Oxidschichten und Verunreinigungen ab. Dies führt zu einer Reduzierung von Spritzern, die sogenannten Droplets!

plasmatec - Wir schaffen verschleiß- und korrosionsfeste Oberflächen!

Plasmanebel an gezündeten ARC-Verdampfer

Bild: gezündete ARC-KathodeSchicht ohne AEGD-ProzessSchicht mit AEGD-Prozess

Bilder: REM-Aufnahmen der Schicht (Rasterelektronenmikroskopie)

 

 

©Heinz Klarhorst